国学问产权局信息暴露朝阳异型材设备，卡尔蔡司MultiSEM有限包袱公司请求项名为“具有矫正的检测系统而在大限制的次电子冲击能量上进行二次电子成像的多束带电粒子显微镜筹画”的利，公开号CN122270805A，请求日历为2024年11月。

利选录暴露，提供了种具有二次电子成像系统的多束带电粒子系统以及该多束带电粒子系统的操作法，其建树用于抵偿次带电粒子冲击能量大限制上的成像或光瞳像差。期骗所揭露的系统和法，扩充抵偿二次电子成像系统的成像或光瞳像差的系统法。本发明可应用于多束带电粒子系统的晶圆查验。

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